泵種類 | 油封機(jī)械泵 | 水蒸汽噴射泵 | 羅茨泵 | 油增壓泵 | 油擴(kuò)散泵 |
*工作范圍(Pa) | 105~10 | 105~102 | 102~1 | 1~10-1 | 5×10-2~10-4 |
真空泵的定律及公式
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